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永利99yl com:湖南大学展示纳米尺寸垂直晶体管原型器件

来源:网络 2021-05-08
湖南大年夜学展示纳米尺寸垂直晶体管原型器件

新华社长沙5月7日电(记者谢樱、苏晓洲)记者7日从湖南大年夜学获悉。
       刘渊教授团队应用范德华金属集成法。
       成功展示了超短沟道垂直场效应晶体管。
       其有效沟道长度最短可小于1纳米。这项“微不雅天下”的立异。
       为“后摩尔期间”半导体器件机能提升增加了盼望。日前。
       这一钻研成果已颁发在《自然·电子学》上。

从21世纪初开始。
       商用谋略机的主频便故步自封。
       相关“摩尔定律”已贴近亲近极限——伴随电子器件缩小。
       沟道长度也缩短到十纳米级别。
       短沟道效应加倍显明。若何制造出更优机能与更低功耗的电子器件。
       成为“后摩尔期间”举世半导体领域关注的焦点之一。

记者从湖南大年夜学物理与微电子科学学院懂得到。
       垂直晶体管具有天然的短沟道特点。
       其研发有望作为一种全新的器件微缩偏向。如能经由过程进一步钻研将真正的沟道物理长度缩小至10纳米以致5纳米以下。
       未来将可能不再依附传统的高精度光刻技巧和刻蚀技巧。

刘渊教授团队采纳低能量的范德华电极集成要领。
       实现了以二硫化钼作为半导体沟道的薄层以致单原子层的短沟道垂直器件。他们将预制备的金属电极物理层压到二硫化钼沟道的顶部。
       保留了二维半导体的晶格布局及其固有特点。
       形成抱负的范德华金属—半导体界面。经由过程对垂直器件进行微缩。
       垂直晶体管的开关比机能提升了两个数量级。

据懂得。
       这种措施还可以运用到其他层状半导体作为沟道的器件上。
       均实现了小于3纳米厚度的垂直场效应晶体管。
       证清楚明了范德华电极集成对付垂直器件微缩的普适性。这项钻研有望为制造出拥有超高机能的亚3纳米级其余晶体管。
       以及制备其他因工艺水平限定而呈现不完美界面的范德华异质结器件。
       为提升芯片机能供给了一种全新的低能耗办理规划。

该论文第一作者为湖南大年夜学物理与微电子科学学院博士生刘丽婷。
       刘渊教授为通讯作者。

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